>
>
> ¾È³çÇϼ¼¿ä. ÇѾç´ëÇб³ ¹ÚÁø¼· ±³¼ö´Ô ¿¬±¸½ÇÀÇ Á¤ÀÇÁøÀÔ´Ï´Ù.
>
> CVD tube furnace, 1'' ~ 2'' Á¤µµ Å©±âÀÇ tube ±½±â¸¦ °¡Áö´Â CVD tube furnaceÀÇ °ßÀûÀ» ¿äûµå¸³´Ï´Ù.
>
> ÃÖ´ë¿Âµµ´Â 1000µµ ¸é µË´Ï´Ù.
>
> Ar, O2 ó·³ ƯÁ¤ °¡½º¸¦ ÁÖÀÔÇÒ ¼ö ÀÖ¾î¾ß ÇÕ´Ï´Ù. Àú·ÅÇÑ ¸ðµ¨·Î °ßÀû ¿äûµå¸³´Ï´Ù.
>
> °¨»çÇÕ´Ï´Ù,.
>
|